半导体专用显微镜

简要描述：半导体专用显微镜，从尺寸极小的MEMS传感器到大尺寸晶圆，甚至整个平板显示器，检测期间不会对样品造成破坏。Axio Imager Vario支持的最大样品高度为254 mm，最大横向样品空间为300 mm，大大拓展了可以测试的样品范围。机柱设计确保了良好的稳定性。可满足在洁净室内检测晶圆的应用要求。利用驱动Z轴的电动马达与自动聚焦硬件确保自动调整至理想的聚焦位置。

产品型号：
厂商性质：代理商
更新时间：2024-07-11
访问量：470

产品咨询联系我们

产品分类

德国蔡司显微镜

蔡司智能数码3D显微镜蔡司半导体专用显微镜蔡司激光共聚焦显微镜蔡司金相显微镜蔡司体视显微镜蔡司电子显微镜查看全部产品

详细介绍

检查大尺寸样品–满足自动化洁净室的要求

从尺寸极小的MEMS传感器到大尺寸晶圆，甚至整个平板显示器，检测期间不会对样品造成破坏。Axio Imager Vario支持的最大样品高度为254 mm，最大横向样品空间为300 mm，大大拓展了可以测试的样品范围。机柱设计确保了良好的稳定性。可满足在洁净室内检测晶圆的应用要求。利用驱动Z轴的电动马达与自动聚焦硬件确保自动调整至理想的聚焦位置。

洁净室
半导体生产和晶圆检测需要在洁净室内进行。根据DIN EN ISO 14644-1标准，以每立方米的颗粒数量和大小将洁净室划分成不同等级。Axio Imager Vario已通过此标准认证，并满足5级洁净室的应用要求。ISO 5级洁净室相当于原先标准FED STD 209E（1992）的100级。洁净室套件中包含一个7x物镜转盘、一个颗粒保护罩和防喷嚏保护罩。

优势

具有两种手动机柱和一种电动机柱（配有符合工业标准的三个模式控制按钮）可供选择，充分利用显微镜的最大横向样品空间300 mm x 300 mm和最大样品高度254 mm的优势。
Axio Imager Vario能通过物镜转盘的上下移动来聚焦样品。这意味着即便是较重的样品，依然可以获得高聚焦精度和可重复性。
借助硬件自动对焦功能，可以精准快速地聚焦低对比度的反射样品。
将Axio Imager Vario与LSM 900结合使用，能够以高分辨率无接触地分析敏感样品
Axio Imager Vario已通过DIN EN ISO 14644-1认证，并满足5级洁净室的应用要求。

产品咨询

上一篇：LSM 900共聚焦显微镜
下一篇：Smartzoom 5 自动化数码显微镜

半导体专用显微镜

检查大尺寸样品–满足自动化洁净室的要求

优势

留言框

产品：

您的单位：

您的姓名：

联系电话：

常用邮箱：

省份：

详细地址：

补充说明：

验证码：