原位MEMS-STM-TEM多场测量系统

PicoFemto原位MEMS-STM-TEM多场样品杆，该产品是原位透射电子显微镜实验系统，使研究者可以在透射电子显微镜中构建一个可控的多场环境（包括力、热、光、电等），从而对材料或者器件等样品实现多重激励下的原位表征。

• 性能指标

透射电镜指标：

△ 兼容电镜型号及极靴；

△ 可选双倾版本，双倾电学测量样品杆Y轴倾角±25°（同时受限于极靴间距）；

电学测量指标：

△ 包含一个电流电压测试单元；

△ 电流测量范围：１ nA-30 mA，9个量程；

△ 电流分辨率：优于100 fA；

△ 电压输出范围：普通模式±10 V，高压模式±150 V；

△ 自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存。

扫描探针操纵指标：

△ 粗调范围：XY方向2.5 mm，Z方向1.5 mm；

△ 细调范围：XY方向18 um，Z方向1.5 um；

△ 细调分辨率：XY方向0.4 nm，Z方向0.04 nm。

光纤指标：

△ 多模光纤外径250 um，保证电镜系统真空指标；

△ 可选光纤探针、平头光纤；

△ 配备快速SMA接头、FC接头；

加热指标：

△ 温度范围：室温到1000 ℃；

△ 温度准确度优于 5% ；

△ 温度稳定性：优于±0.1 ℃。

• 应用场景

可通过简单更换MEMS芯片种类以及不同STM探针为样品施加至多四种激励，实现多种复杂的测试功能，完成以往无法实现的研究。

△ 高温拉伸/压缩（加热芯片+电学STM探针）；

△ 热电子发射/场发射（加热芯片+电学STM探针）；

△ 三端器件测量（电学芯片+电学STM探针）；

△ 电致发光现象研究（电学芯片+光学STM探针）；

△ 光电现象研究（电学芯片+光学STM探针）。

• 产品特色

△ 稳定性高

轻松获得大幅度运动中的高分辨像，适用于更广泛的应用场景和样品体系。

△ 超低维护成本

设备配套的针尖制备系统可低成本制备针尖耗材。"爪-球“微动结构已实现模块化量产，维护成本低。

△ 庞大的用户群

在国内拥有近200个高质量原位用户，出口到欧美澳等地。每年，用户会产出大量高质量研究成果。定期组织各类用户交流活动，搭建学术平台供用户交流。

△ 成熟的技术支持网络

在安徽、北京、东莞和上海拥有分公司，其他各地拥有若干技术支持网点，24小时提供技术支持