手动台阶仪 JS10B

简要描述：国产手动台阶仪 JS10B，稳定可靠的重复性测量，采用金刚石探针，无畸变的观察样品区，实时观察扫描区域，突破三个核心技术，国内研发生产，便于售后服务。【支持定制台阶仪】

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产品描述

国产手动台阶仪JS10B，拥有高精度、高分解能力，搭配一体花岗岩结构，提供稳定可靠的重复性测量。JS10B提供一个彩色摄像头对样品和针尖同时成像，可无畸变的观察样品区，方便定位特征区域，同时探针扫描时可实时观察扫描区域。

手动台阶仪 JS10B

手动台阶仪 JS10B关键技术指标

装载晶圆尺寸：150mm\200mm\300mm

台阶高度重复性：≤0.5nm(1um标准块重复扫描30次)

台阶测量高度：≤80um

样品平台行程：可实现水平(X/Y)，旋转(RZ)电动控制

单次扫描距离：≤55mm

探针压力：0.5~50mg

探针直径：≥2um 探针1个，≤1um 探针1个

• JS10B技术参数

手动台阶仪 JS10B

• 配套软件介绍

手动台阶仪 JS10B

• 应用案例

测金属片

手动台阶仪 JS10B

测电极

手动台阶仪 JS10B

测光刻胶

手动台阶仪 JS10B

测膜厚

手动台阶仪 JS10B

测标样

手动台阶仪 JS10B

测标样

手动台阶仪 JS10B

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