手动探针台系统

简要描述：手动探针台系统，可测试晶圆尺寸:最大4英寸样品台行程:100mm*100mm移动分辨率:~0.1mm样品台旋转范围:360度低漏电底栅接口，标准Triax 输出可选 400 度高温样品台

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手动探针台系统，可定制手动探针台系统，整套系统包配置有探针台主体、显微镜、针座、探针线缆、探针等配置如下：

序号	项目	说明
1	探针台主体	可测试晶圆尺寸:最大4英寸样品台行程:100mm*100mm移动分辨率:~0.1mm样品台旋转范围:360度低漏电底栅接口，标准Triax 输出可选 400 度高温样品台
2	显微镜	舜宇三目连续变倍体视镜，LED环形照明光学变倍总倍率 45倍，物镜 0.7~4.5倍连续变倍可选配高清摄像头，总放大倍率约700倍
3	针座	磁性吸附底座，XYZ移动范围:12mm移动分辨率 2um标配4个，最多可装6个
4	探针线缆	低漏电探针设计，漏电流低于100fATriax 标准接口输出，Keithley原装低噪声 Triax 线缆
5	探针	低漏电探针设计，针尖直径标配10um，最小1um
6	尺寸和自重	尺寸:450mmW450mmD500mmH;自重:约 30Kg。