压电物镜NF100LA采用压电陶瓷驱动的纳米级物镜扫描台,内部使用无摩擦及空回的柔性较链导向机构,确保了扫描台优秀的运动精度。
体积小、结构紧凑 超高真空微型光栅尺SMG26特点,体积小,结构紧凑,适用于超高真空使用,良好的耐高温性,最高可达100℃,SMG26系列光栅的栅距为256μm,下表为不同细分倍数下的允许速度值,精度高,绝对精度3μm(20℃)
线性压电纳米位移台ML-37A,大行程直线位移台,不仅拥有紧凑的安装尺寸,同时还兼具低温真空等应用环境,是小空间内大行程高精度的定位的优先选择产品。支持定制纳米位移台。