低温液氮探针台 LN-4H-06产品主要是由真空腔体、探针控制、显微镜模块、变温样品台、进口分子泵组、全旺程真空规、智能温控仪等组成。
ZP3-4 微纳探针台包含4个压电三轴探针臂,每个三轴配备1个可拆卸式电学探针接口,可在毫米级尺度上进行宏观运动并实现纳米尺度上的微观运动。
室温半自动探针台 TZ-H-06室温自动探针台,高可靠性探针台系统,主要应用在半导体/微电子, 电子,机电,物理,化学,材料,光电,纳米,微机电/MEMs,生物芯片,航空航天等科学研究领域,以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。
干式液氦温区探针台 LHe-6H-06产品特点,真空腔体:真空度优于610-4 Pa。降温后优于610-5 Pa。留有2个用户法兰接口(KF40可接入气体或者额外的电缆)。