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△ 真空腔体:真空度优于6×10-4 Pa。降温后优于6×10-5 Pa。留有2个用户法兰接口(KF40可接入气体或者额外的电缆);
△ 探针控制:标配6个探针臂。调节范围110mm*50mm*30mm,调节精度优于10um。每个探针臂配一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆;
△ 显微镜模块:连续变倍单筒显微镜,光学放大倍率:0.5X~3. 75X(使用0. 75X附加物镜时),视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头,带同轴照明和环形照明,带机械调焦和光学调焦;
△ 变温样品台:直径标配50mm,可选配150mm。变温范围:6K~400K。控温稳定性优于±0.01 K;
△ 可选配接入光纤,可将一根或几根电学探针替换为光纤;
△ 系统直流漏电低于1pA;
△ 产品含进口分子泵机组、全量程真空规和智能温控仪。
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