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产品描述
室温半自动探针台，高可靠性探针台系统，主要应用在半导体/微电子， 电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMs，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。
旨在预算与高测量可靠性之间寻求平衡点，该平台配备高精度位移台，可实现X、Y、Z、 R等方向自动调整，各移动轴可实现±0.005mm以下的精度定位，对阵列型测量特征可实现快速准确的测量。经济实用，稳定性强，可升级扩展，操作方便是本产品的核心价值，在各大高校、研究所及半导体行业应用广泛。
△ 标配4个探针臂，可提供4-8个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm，调节精度优于5um。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆；
△ 显微镜模块：连续变倍单筒显微镜，光学放大倍率：0.5X~5.0X（使用1X附加物镜时）， 视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头，带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦；
△ 样品座采用电机驱动，可实现快速于目镜下寻找样品，调节范围：100mm*100mm*15mm*±180°。
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