详细介绍
产品描述
SEM纳米探针台产品实现了三维空间上的准确定位, 它具有分辨率高,尺寸紧凑,行程大,操作简单,能在真空下使用等优点,可应于SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作。
SEM纳米探针台产品使用压电陶瓷驱动,运无需润滑,百分真空兼容,并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到纳米级。步进和扫描双模式工作,在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。
三轴探针台由三个单轴运动台组合而成。一SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头,实现微纳操纵和测量的目的。
▲ 兼容性:适配多种钨灯丝、场发射SEM,保证电镜安全性
▲ 探针驱动方式:PZT压电陶瓷
▲ XYZ行程:XY轴行程≥±10mm,Z轴行程≥10mm
▲ 细调行程:3um
▲ 细调最小步长:≤1nm
▲ 控制模式:开环/闭环
▲ 探针数量:最多支持8探针
▲ 制冷系统(选配功能):热台200℃;冷台-60℃(TEC);冷台-170℃(液氮)
• 主要配置
压电探针台、压电三轴位移控制器、PC+软件(闭环选配)、压电冷台(选配)、手提箱、源表(选配)、制冷系统(选配)、定制适配电镜法兰、工具附件等
▲ 结构紧凑,高刚性
▲ 零间隙,高精度柔性铰链导向系统
▲ 压电陶瓷位移平台具有超长使用寿命
▲ 内部根据需求可增加位置反馈
▲ 应用:纳米材料操纵、纳米器件电学光电等物性测量、生物细胞DNA操作等
▲ 适配SEM:日本电子、 日立、FEI、 TESCAN等
电容样品测试
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