蔡司Axio Imager Vario大样品的正置显微镜

蔡司Axio Imager Vario

用于大型样品的正置显微镜

使用蔡司Axio Imager Vario分析极小的MEMS传感器或整块平板。其支柱设计让您可以检测超大样品，同时保持高度稳定性。此外，Axio Imager Vario已获得洁净室使用认证。

☆检查大型样品

☆可兼容洁净室

☆始终保持对焦

检查大型样品

选择手动或电动支柱，尽享可检测最大尺寸为300 mm × 300 mm、最大高度为254 mm样品的优势。无论是处理重型样品还是与蔡司LSM材料共聚焦激光扫描显微镜结合使用，坚固的支柱设计均可防振动，提供可靠的稳定性。

获得洁净室工作认证

晶圆和光掩模检测对清洁度的要求非常高。因此，检查需要在洁净室内完成。根据DIN EN ISO 14644-1标准，以每立方米内颗粒数量和大小将洁净室划分成不同等级。Axio Imager Vario已通过该标准认证，满足5级洁净室的要求。ISO 5级洁净室相当于原FED STD 209E（1992）标准的100级。

始终保持对焦

当检测低衬度反光表面时，只需为您的Axio Imager Vario配备高效的硬件自动对焦。无论是对于反射光还是透射光，均可保证高精度。传感器能够探测到焦点位置变化，并自动补偿任何偏差。即使是大型样品，在移动时也能保持出色对焦。

硬件自动对焦

材料研究和工业生产需要对焦精度可达物镜景深0.3倍的高精度对焦系统。锁定范围高达12000 µm的对焦系统可满足该要求。该自动对焦适合使用反射光、透射光、明场、暗场、偏光、微分干涉相差及斜照明的应用。

TFT显示屏，明场，透射光，红色、绿色和蓝色子像素

应用

探索Axio Imager Vario在材料领域的金相应用

反射光暗场，EC Epiplan-APOCHROMAT 10x/0.30

反射光明场，EC Epiplan-NEOFLUAR 5x/0.13

反射光暗场，EC Epiplan-APOCHROMAT 50x/0.95

反射光，C-DIC，EC Epiplan-APOCHROMAT 50x/0.95